PBN蒸发舟（蒸镀舟/舟皿）

PBN蒸发舟 / PBN蒸镀舟（PBN Boat）：用于OLED蒸镀与高真空蒸发工艺

PBN蒸发舟、PBN蒸镀舟（PBN Boat）及OLED蒸发舟，主要用于OLED有机材料蒸镀、PVD真空镀膜及高洁净蒸发工艺中，承担蒸发容器、材料承载及热场结构件作用。该类热解氮化硼蒸发舟适用于高真空、高温及高纯环境，对材料放气性能、热稳定性及表面状态要求较高。

特立特（Telite Ceramics）提供≥99.99%高纯CVD制备的PBN蒸发舟与PBN蒸镀舟定制加工，适用于科研装置及半导体蒸镀设备配套。

一、PBN蒸发舟在高真空蒸镀中的放气与污染控制

在OLED蒸镀及真空蒸发过程中，蒸发容器的材料纯度会直接影响薄膜质量。普通氧化铝或石墨舟在高温下可能释放微量杂质气体，从而影响成膜洁净度。

相比之下，采用CVD工艺制备的PBN蒸发舟不含烧结粘结剂，在UHV（超高真空）环境中具有较低放气特性，更适用于高洁净蒸镀工况。

二、PBN蒸镀舟的非润湿特性与残料处理

热解氮化硼蒸发舟对多数金属材料具有不润湿特性。在蒸镀结束后，残余材料冷却收缩，通常不易粘附在容器表面。

这一特性使PBN蒸镀舟在多次重复使用过程中，具备更好的清理便利性，同时有利于贵金属材料的回收利用。

三、OLED蒸发舟的热稳定性与结构设计

在反复升温与冷却的蒸镀工艺中，OLED蒸发舟需要具备稳定的热性能与结构完整性。材料致密性、壁厚设计及边缘状态，都会影响长期使用稳定性。

针对不同设备结构，PBN蒸发舟可设计为平底舟、带槽结构、分区蒸发结构或带导流功能的异形结构，以适配不同蒸发源需求。

四、PBN舟皿的加工与图纸确认要点

PBN舟皿及各类PBN蒸发舟通常为非标结构件，加工前建议确认：

• 长宽高尺寸及公差
• 内腔结构（槽、隔板、分区）
• 壁厚及边缘处理方式
• 使用温度及真空环境
• 蒸发材料类型（有机 / 金属）

对于替换件或设备配套件，提供原件尺寸或照片通常有助于提高匹配精度。

总结一下

对于PBN蒸发舟、PBN蒸镀舟、OLED蒸发舟及PBN舟皿，实际选型重点在于材料纯度、放气特性及结构设计，而不仅仅是外形尺寸。

如需高洁净蒸镀工况配套方案，可按图纸或样件确认后加工。

PBN Material Reference