PBN板材（片/板/基片）

PBN板材 / PBN片材 / PBN垫片（热解氮化硼板 / 热解氮化硼片）：高温真空隔热与半导体热场应用

PBN板材、PBN片材、PBN垫片、热解氮化硼板、热解氮化硼片（PBN Sheet），主要用于MBE、MOCVD、晶体生长及高温真空设备中的隔热、绝缘及结构支撑位置。该类材料适用于超高真空（UHV）及高温工况，对材料纯度、放气性能及热稳定性要求较高。

特立特（Telite Ceramics）提供基于CVD工艺制备的PBN板材、PBN片材及PBN垫片定制加工，适用于科研院所及半导体设备热场系统配套。

一、PBN板材在高温真空环境中的放气控制

在高温真空环境中，普通氧化铝或烧结氮化硼材料可能因含有粘结剂而产生放气，影响腔体纯度及工艺稳定性。

相比之下，PBN板材与热解氮化硼板采用化学气相沉积（CVD）工艺制备，不含传统烧结助剂，在高温及UHV环境下具有较低蒸汽压，更适用于对洁净度要求较高的工艺位置。

二、热解氮化硼片的导热与隔热特性

热解氮化硼片及PBN片材具有典型的各向异性导热特性：

• 平行于板面的方向导热较高，有利于热量均匀分布
• 垂直方向导热较低，适用于隔热结构设计

因此，PBN垫片及PBN片材常用于加热器隔离、层间绝缘及热场调节位置。

三、PBN板材与PBN垫片的加工与结构确认

PBN板材及PBN垫片多用于非标结构件，加工前通常需要确认：

• 厚度、公差范围及平面度要求
• 外形尺寸（圆片、方片或异形结构）
• 是否包含通孔、沉孔或开槽结构
• 边缘倒角、R角及装配面状态
• 使用温度、真空度及气氛环境

对于替换件或维修件，提供原件尺寸或图纸，有助于提高匹配精度。

四、PBN片材的典型应用场景

• MBE / MOCVD 热场隔热结构
• 晶体生长设备隔热层与支撑结构
• 高温真空炉绝缘隔板
• 半导体设备内部定位及隔离结构

总结一下

对于PBN板材、PBN片材、PBN垫片、热解氮化硼板及热解氮化硼片，实际选型重点在于材料纯度、放气性能及热场匹配，而不仅仅是尺寸规格。

Pyrolytic Boron Nitride (PBN) Reference