LEC 坩埚(GaAs / InP 等)

¥700.00

价格说明:页面标价为打样/占位参考价;定制尺寸与批量以图纸确认报价及合同为准。
用于液封直拉(LEC)单晶生长工艺的PBN(热解氮化硼)坩埚,适配GaAs/InP等化合物半导体体系。耐高温、低污染,支持按OD/ID/高度、口沿/底部结构与装夹方式定制,适合高校实验室、研究所、科学院的小试与验证。

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长出的GaAs/InP单晶总是位错超标?你可能需要换上 99.99%超高纯 LEC坩埚

搞化合物半导体(像砷化镓 GaAs、磷化铟 InP)单晶生长的工程师和博导们,肯定都经历过这种绝望:辛辛苦苦用液封直拉法(LEC)拉出来一根单晶棒,切片一测,位错密度(EPD)直接爆表,或者碳、氧杂质超标,几十万的料直接成废品。
作为深耕工业陶瓷领域的高端热场供应商,特立特陶瓷(Telite Ceramics)今天就来跟各大中试线和科研院所的技术大牛们聊聊,为什么拉制高质量单晶,必须死磕 PBN单晶生长坩埚 这个核心容器。

痛点一:杂质掺入?纯度是长晶的唯一真理

在 LEC 工艺中,熔体温度高达 1000℃~1300℃ 以上,且上方覆盖着 B2O3 液封剂。如果坩埚本身含有微量杂质,在极端高温下必然会溶解到半导体熔体中,直接摧毁晶体的电学性能。
特立特的底线非常粗暴:纯度绝对碾压!我们的 LEC坩埚 采用化学气相沉积(CVD)工艺一体成型,材质被死死锁定在 99.99% 超高纯以上。不含任何烧结粘结剂,在极端高温和熔体冲刷下,这种 液封直拉坩埚 的放气率和杂质溶出率几乎为零,从根源上斩断了碳、氧及重金属污染的可能。

痛点二:晶体粘锅导致应力与位错?PBN帮你解决

用石英坩埚长砷化镓,最大的噩梦就是熔体在冷却过程中粘附在坩埚壁上。晶体和坩埚的热膨胀系数不同,粘结会导致巨大的热应力,单晶直接开裂或者产生海量位错。
而特立特出厂的 GaAs生长坩埚InP单晶坩埚,全部经过标志性的暖白色精磨工艺处理。PBN 材质本身对 III-V 族熔体和 B2O3 液封层极其“不润湿”。这就像给坩埚加了终极“不粘涂层”,单晶生长结束后,冷却的晶锭可以极其顺滑地脱模。没有了粘壁应力,晶格自然完美无瑕。

痛点三:热场梯度极难控制?

单晶生长的成败,很大程度上取决于固液界面的温度梯度控制。普通的陶瓷容器导热杂乱无章。而特立特的 PBN单晶生长坩埚 具有天然的各向异性导热特性(径向导热快,轴向导热慢),能协助设备营造出极其理想、稳定的温场梯度,大幅提升拉晶良率。

设备厂配套与科研极速打样

无论是匹配科研院所的高压单晶炉,还是半导体材料厂的量产机台,特立特都能提供极速响应的定制服务。从特殊的内径尺寸、精密的唇部台阶,到精确的壁厚控制,我们的数控加工中心都能完美满足。

想深入研究 PBN 在单晶生长中的热力学与晶向各向异性数据的学霸们,请参考这篇权威维基百科文献:
Pyrolytic Boron Nitride Crystal Growth Applications

特立特工业陶瓷(Telite Ceramics)—— 您的单晶热场大管家
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专业极速定制:LEC坩埚、PBN单晶生长坩埚、液封直拉坩埚、GaAs生长坩埚、InP单晶坩埚(材质绝对保障≥99.99%超高纯)。全面兼容科研打样与设备厂量产配套!

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