氮化硼舟形坩埚（BN蒸发舟/蒸发舟）｜真空蒸发与PVD用

精密 氮化硼蒸发舟 与 导电蒸发舟：PVD真空镀膜常用热场部件

作为长期配套工业陶瓷部件的供应商，特立特陶瓷（Telite Ceramics）可为真空镀膜、蒸发实验及相关热场系统提供多种蒸发耗材方案。我们的核心产品包括 氮化硼蒸发舟 及复合材质 导电蒸发舟，适用于 PVD（物理气相沉积）工艺中对耐高温、抗粘附、热稳定性和材料匹配有要求的使用场景。

一、面向科研与设备配套的常见产品类型

在真空电阻加热蒸发工艺中，蒸发源载体的材料和结构会直接影响蒸发稳定性、成膜均匀性及后续清理便利性。根据不同设备条件和工艺要求，我们可提供以下几类产品：

• 氮化硼蒸发舟：采用热压氮化硼（h-BN）加工，适合多数高温蒸发和材料承载工况。BN 材料通常具有较好的抗粘附性和化学稳定性，适合与多种蒸发金属或高温材料接触。
• 氮化硼舟：作为常见的基础承载耗材，氮化硼舟 可用于实验室蒸发、小批量验证及部分设备热场位置，适合按图做槽形、尺寸和边缘结构调整。
• 氮化硼舟形坩埚：适合需要较深槽体、较大承载量或特殊蒸发区域设计的使用场合。相较普通浅槽结构，氮化硼舟形坩埚 更便于做容量和蒸发表面的配合调整。
• 真空蒸发舟：适用于真空蒸发系统、蒸镀设备及相关高温实验环境。对于需要控制材料洁净度和减少高温残留影响的工况，真空蒸发舟 常用于设备配套与实验验证。
• 导电蒸发舟：针对需要直接通电加热的工况，可选 TiB2-BN（二硼化钛-氮化硼）复合材质的 导电蒸发舟。这类结构通常兼顾导电加热需求与高温环境下的配套稳定性。

二、产品加工与使用中的常见关注点

我们的蒸发类产品之所以常用于科研和设备配套，主要在于材料选择、结构设计和加工控制能够更贴近实际工况需求：

1. 表面与槽体加工：对于纯 BN 材质的 氮化硼蒸发舟，加工时会重点关注槽体尺寸、边缘完整性和表面状态，便于后续装料、蒸发和清理。
2. 结构匹配：无论是 氮化硼舟形坩埚 还是 导电蒸发舟，都可按设备功率、装夹方式和蒸发区要求进行尺寸确认与结构调整。
3. 支持定制：针对科研验证、新材料评估及设备配套项目，可支持 真空蒸发舟 的槽形、孔位、带边结构和异形尺寸定制，并可按图进行小批量打样。

三、常见应用方向

从基础金属蒸发实验，到 OLED 蒸镀、真空蒸发、材料合成及部分半导体相关热场工艺，蒸发类 BN 部件都属于比较常见的配套耗材。不同工况下，氮化硼蒸发舟、氮化硼舟、氮化硼舟形坩埚、真空蒸发舟 和 导电蒸发舟 的结构侧重点会有所不同，通常需要结合蒸发材料、功率条件、使用温度和设备装夹方式综合确认。

如需进一步了解六方氮化硼及 TiB2-BN 复合材料的基础信息，可参考公开资料：
Hexagonal Boron Nitride & TiB2 Composite Properties（外部技术参考）。